Wenn ich dich richtig verstanden habe,startest du doch nur ein externes Programm mehrmals mit verschiedenen Parametern.
Die Laufzeit deines Programms ist also hauptsächlich von der Geschwindigkeit des aufgerufenen Programms abhängig.
powaitonexit bewirkt bei Tprocess das bis zum Ablaufende des Programms gewartet wird.

Ich würde einfach die benötigten TProcesse ohne powaitonexit erzeugen und in eine Objectlist stopfen
um dann mit running bzw. Exitstatus prüfen ob sie noch laufen/wie sie beendet wurden.

Deswegen bringen meiner Meinung nach Threads da keinen großartigen Vorteile.
Ist aber bestimmt eine gute Übung.

http://lazarus-ccr.sourceforge.net/d...xitstatus.html
http://lazarus-ccr.sourceforge.net/d...s.running.html