Dass der Zugriff über
OLE recht langsam ist, ist klar. Das mag noch optimiert werden können (z.B. wie schon vorgeschlagen, indem immer die gleiche Instanz verwendet wird), aber wirklich schnell ist das nie.
Sinnvoller wäre, die Dateien direkt zu schreiben, wenn die Geschwindigkeit eine Rolle spielt. Dafür gibt es ja genügend fertige Lösungen wie z.B.
TMS FlexCel for VCL & FMX.