Ich hatte das vor einigen Jahren auch mal. Ursache bei mir waren irgendwelche Units, die gegenseitig aufeinander verwiesen haben und wo irgendein Fehler auftrat. Daran hatte sich der Compiler dann verschluckt.
Auf die richtige Spur kam ich damals, als ich den Compiler nicht normal aus der
GUI heraus gestartet habe, sondern per Kommandozeile. Da waren dann tatsächlich ein paar halbwegs hilfreiche Meldungen dabei anstelle einer immer weiter hochlaufenden Fehlerzahl.
Vielleicht hilft dir das ja als Lösungsweg auch weiter.