Hallo..
Die Dateien mit '~' sind wie schon geschrieben die Backup-Dateien.
Wenn die originale .pas nicht mehr da ist, dann benenne die Endung '.~
pas' einfach nach '.pas' um.
Eventuell fehlen dann nur deine letzten Änderungen.
Du kannst die Dateien nach lauffähiger Complierung (und beenden von Delphi) alle löschen.
Sobald Du die original-Datei wieder bearbeitest, wird vor Bearbeitung davon eine neue Backupdatei mit '~' erzeugt.
So kannst Du immer wieder zur letzten Version zurückgehen (letzte Version in diesem Fall = letztes speichern der Datei).