Bei mir ebenso. So ist es glaube ich auch normal.
Vorher war er bei mir deaktiviert. Das führte dazu, dass SYSTEM immer gerne die Datei offen hielt.
Wer ist es denn bei dir? Das RAD Studio selber?
Edit: Ich glaube nicht, dass es am Projekt selbst liegt. Hast du das auch mit neuen und bestehenden Projekten? Auch: Wie beendest du das üblicherweise? Wenn ich den Prozess aus dem Debugger kille habe ich das ganz selten auch mal...