IsWOW64Process wäre wohl die einfachste Lösung
Dabei ist ein der Prozess ein 64 bit Prozess, wenn:
(IsWOW64Process(GetCurrentProcess)) and (not IsWOW64Process(hTargetProcess))
Die erste Abfrage prüft, ob du überhaupt in einem 64 bit System bist (da dein Delphi Prozess sicher 32 bit ist, sofern du nicht mit Lazarus kompilierst) und die zweite Abfrage prüft, ob der Zielprozess NICHT im 32 Subsystem (WOW64) läuft.